日本山武MCS100A100,MCS100A112

MCS100A100流量傳感器
規格

型號:MCS100A100/  MCS100A104 / MCS100A108/  MCS100A112

適用氣體:空氣,氮氣

氣體必須干燥且不含腐蝕性成分（例：氯、硫、酸等）

氣體必須是清潔氣體，不含粉塵和油。

流量范圍:-3～+3L/min /0～3L/min/ -0.5～+0.5L/min / 0～0.5L/min

以上數值為20℃，1atm條件下數值。

操作溫度:0～50℃(環境溫度與介質溫度均為此數值）

操作濕度:10～80%RH (無結露)

操作壓力范圍:-100～+200KPa (確保壓力特性的范圍:-70～+200KPa)

輸出電壓精度:±5%FS

響應速度5ms（一個采樣周期內，流量變化量*大為95%FS）

額定電壓12～24VDC, 12VDC趨動時，紋波電壓小于5%，

24VDC趨動時，紋波電壓小于10%

消耗電流:12mA以下

管路連接:M5內螺紋

安裝位置:任意

重量9g

選型表

說明

序號

MCS100A100: -3～+3L/min流量傳感器

MCS100A104: 0～3L/min流量傳感器

MCS100A108:-0.5～+0.5L/min流量傳感器

MCS100A112: 0～0.5L/min流量傳感器

可選附件（另售）

序號說明

81446888-001 帶插頭連接電纜

質量流量傳感器MCS100系列可以運用在各種科學儀器的空氣流量測量、微型電子部件的吸附確認等應用中